超純水電阻率溶解氧在線監測傳感器分析儀

ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監測傳感器分析儀專為半導體、電子、光伏、制藥、電廠鍋爐及工業超純水系統設計，可實現超純水電阻率、電導率及微量溶解氧（DO）的24小時在線連續監測。設備采用高精度電極與熒光法微量溶氧檢測技術，具備自動溫度補償、實時數據傳輸、超限報警及RS485/4-20mA輸出功能，適用于晶圓清洗、EDI超純水、鍋爐補給水及純化水系統水質控制。產品符合電子級超純水在線監測需求，可有效降低水質波動引發的氧化、腐蝕、結垢及工藝污染風險。

在半導體、電子制造、醫藥純化水及鍋爐補給水系統中，超純水水質直接關系到產品良率、設備壽命與工藝穩定性。尤其是電阻率和溶解氧（DO）兩項關鍵指標，一旦出現波動，容易導致晶圓污染、金屬氧化、鍋爐腐蝕以及工藝失控等問題。贏潤集團研發生產的ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監測分析儀，參照《ASTM D5127-13(2018)電子和半導體行業超純水標準指南》設計，可實現對超純水電阻率及微量溶解氧的24小時連續在線監測，廣泛適用于半導體、電子、光伏、制藥、電廠及高純水系統等行業。

超純水電阻率溶解氧在線監測分析儀產品特點：

★采用高精度電阻率與微量溶解氧檢測技術，可實現超純水水質連續在線監測。

★依據《ASTM D5127-13(2018)電子和半導體行業超純水標準指南》設計，滿足電子級超純水監測需求。

★支持電阻率、電導率及微量溶解氧（DO）同步分析，監測數據更全面。

★配備自動溫度補償功能，減少環境溫度變化對測量結果的影響。

★具備24小時實時在線監測能力，可及時發現超純水系統異常。

★采用高靈敏度傳感器，能夠實現ppb級微量溶解氧檢測。

★支持4-20mA、RS485等工業通訊方式，可接入PLC、DCS及智慧工廠系統。

★具有超限報警與數據存儲功能，方便歷史數據查詢與趨勢分析。

★設備穩定性高、維護量低，適合長期連續運行。

★工業級結構設計，適用于電子車間、純水站及復雜工業環境。

★響應速度快，可實時反映超純水電阻率及溶解氧變化趨勢。

★有助于降低人工化驗頻率，提高超純水系統自動化管理水平。

超純水電阻率溶解氧在線監測分析儀技術參數：

一、超純水電阻率在線監測分析儀技術參數：

二、超純水溶解氧在線監測分析儀技術參數：

超純水電阻率溶解氧在線監測分析儀典型應用：

▲半導體行業晶圓清洗超純水系統在線監測。

▲光刻工藝超純水電阻率與溶解氧控制。

▲CMP化學機械拋光工藝純水品質分析。

▲集成電路（IC）制造超純水系統監測。

▲LED及液晶面板生產用高純水在線分析。

▲光伏新能源行業電子級純水系統水質監測。

▲醫藥行業注射用水（WFI）在線監測。

▲制藥純化水（PW）系統水質連續檢測。

▲電廠鍋爐補給水與除鹽水系統監測。

▲超純水EDI系統出水水質分析。

▲工業高純水制備系統電阻率在線檢測。

▲鍋爐凝結水及蒸汽系統微量溶解氧監測。

▲精細化工行業高純工藝用水在線分析。

▲實驗室及科研機構超純水系統水質監控。

超純水電阻率與溶解氧含量是衡量工業超純水系統穩定性的重要指標。ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監測傳感器分析儀通過高靈敏度在線傳感技術，實現對μg/L級微量溶解氧及高純水電阻率的精準監測，廣泛應用于半導體、電子制造、制藥純化水、電廠鍋爐補給水及工業純水領域。設備支持連續在線分析、自動溫度補償、遠程通訊及異常報警，可幫助企業及時發現EDI異常、管路氧腐蝕、水質離子污染等問題，提升超純水系統運行安全性與產品工藝穩定性。